随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电性（如电流、电压、阻抗等）或工 作状态等，传统测试方法就显得无能为力了。于是一种高精度探座应运而生，通过显微镜将被测元件放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接测试主机进行测试和分析。
Avantgarde 室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下的芯片、晶圆和器件的非破坏测试。
稳定的双位移调节系统
样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。
探针臂底座采用螺钉固定，避免了磁力吸附固定带来的磁场干扰以及真空吸附在不开启真空泵即无法固定的问题，同时可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置
极小的漏电性
探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线
探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电
联用设备
PSM-4室温手动探针台安装上永磁铁可以和M91快速霍尔测量仪配套使用，M91集成了电压表、电流源、矩阵开关、数据采集软件、欧姆接触检查软件、霍尔分析软件，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数，探针台应用于霍尔测量，无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统需要连接），也可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。
M91快速霍尔测量仪特点
可实现迁移率低至10-2cm2 /Vs的测量（10-2-106 cm2 /Vs）
测量速度是目前行业内常规霍尔的100倍
Fasthall无需磁场反转，即可实现迁移测量
高阻选件允许测量样品阻值10mΩ-100GΩ
支持范德堡和霍尔巴测试
支持传统DC霍尔测量
M91包含MeasureLink MCS应用软件，操作简单，功能强大
直接或间接测量的参数
霍尔电压
IV曲线测量
电阻
霍尔系数
霍尔迁移率
载流子类型/浓度/密度
范德堡和霍尔巴结构
