鉴于泄漏无法避免的现实，工程师需要面对的关键问题通常就变成：“多大的泄漏必须干预？”为了解决这个问题，安捷伦开发了全新氦质谱检漏仪 (HLD)，汇聚了众多安捷伦关键创新，包括全新的用户界面，优化的使用性能及维护成本。
安捷伦氦质谱检漏仪
鉴于泄漏无法避免的现实，工程师需要面对的关键问题通常就变成：“多大的泄漏必须干预？”
为了解决这个问题，安捷伦开发了全新氦质谱检漏仪 (HLD)，汇聚了众多安捷伦关键创新，包括全新的用户界面，优化的使用性能及维护成本。

参数设置从未如此简单
安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计，无需猜测，避免浪费时间或造成严重错误。对于大多数常见应用（吸枪、氦气喷枪、高灵敏度和自动排序器等），用户可以访问适合的应用界面并按照向导正确设置参数。直观的触摸屏界面为操作人员、工艺工程师和维护技术人员提供 8 种语言并且有不同的安全级别可供选择。

值得信赖的安捷伦可靠性
HLD氦质谱检漏仪中的全部组件均由安捷伦制造并提供支持。该解决方案拥有一年的标准质保期（提供两年和三年质保的可选配置），并享有全球服务、全球备件网络以及各种订制化服务合同的支持。凭借卓越的使用维护成本、实际应用性能和易用性等优势，安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪树立了可靠检漏的新标准。

安捷伦 HLD：创新与信心
氦质谱检漏是对泄漏定位或准确定量检测的一种快速、灵敏和可靠的方法，可以快速解决影响各种部件和系统质量或使用寿命的泄漏问题。安捷伦 HLD 的创新技术旨在大程度提高易用性、性能和可靠性，使您高枕无忧，代表了我们持久专注检测技术的新成果。

安捷伦 HLD 具有佳性能和效率
-六种不同的应用设置向导可帮助用户将仪器正确配置到佳性能：
氦气喷枪                   高灵敏度
吸枪                        PPM 吸枪
自动排序器                 分流
-安捷伦质量/可靠性，享有一年的质保期
-无线手持式遥控可以实现单人在远 100 米的位置对大型系统进行检漏
-八种语言增强了全球范围的可用性
-更大的工作台面积为测试部件和工具等提供了充足的空间
-开机向导能够帮助用户在接通电源后对仪器进行设置
-改进的关机程序能够使检漏仪处于真空环境并保护真空泵
-易于操作，简化维修
-氮气破空口是标准配置
-模拟量、RS232 和独立的 IO 接口等不同配置帮助您与其它设备轻松互联

安捷伦 HLD 型号命名指南
示例：MR30 是移动式旋片泵配置，抽速 30 m3/h

安捷伦氦质谱检漏仪规格

旋片泵检漏仪

配置	型号	订购号	泵类型与额定抽速	常见应用	何时选择该配置：
便携式	PR02	G8610A	旋片2 m3/h	– 产品研发 – 小型系统	需要紧凑型一体式解决方案和/或有辅助泵 的系统时
台式	BR15 BR30	G8612A G8612D	旋片15 或 30 m3/h	– 制冷系统和组件 – 汽车部件	需要快速的检测密封组件时
移动式	MR15 MR30	G8611A G8611D		– 真空炉 – 工业镀膜机 – 压力容器 – 发电厂	需要检测大型系统、需要更高的泵性能或需要移动式仪器时

干泵检漏仪

配置	型号	订购号	泵类型与额定抽速	常见应用	何时选择该配置：
便携式	PD03	G8610B	涡旋式干泵 + 隔膜泵3 m3/h	– 大学和科学研究 – 小型系统	需要洁净、干燥、紧凑的一体式解决方 案和/或辅助泵的系统时
台式	BD15 BD30	G8612C G8612B	涡旋式干泵 + 隔膜泵15 或 30 m3/h	– 医疗器械 – 电子元件	需要无油快速的检测密封组件时
移动式	MD15 MD30	G8611C G8611B		– 大型科学研究室 – 生物工艺系统 – 半导体工厂	需要检测大型系统、需要更高的泵性能或需要移动式仪器时

常用配置的规格

环境氦气浓度 1000 ppm 时的小可检漏率	5 × 10-12 atm cc/s：5 × 10-12 mbar L/s：5 × 10-13 Pa m3/s 氦气
大测试接口压力	13 mbar，10 Torr，1330 Pa
测试接口处的氦气抽速（精细测试）	1.8 L/s
校准程序	自动或手动（内部或外部）
本底抑制	按键式自动归零，零点自动跟踪
用户界面	8.4 英寸 (213 mm) 高清晰度彩色显示屏，TFT 触摸屏
可选择的语言	中文、英语、法语、德语、日语、韩语、俄语和西班牙语
自动检测循环（自动排序器）	可编辑的预抽时间、测试时间、不合格设定点和压力设置
响应时间	< 0.5 s
设定点	标准设置，5 个设定点，N/O 或 N/C；3 个漏率设置，1 个压力设置， 1 个音频设置
通讯接口	RS232 和模拟量（标准），独立 IO 接口（可选）
认证标准	UL/CSA，CE
尺寸（长 × 宽 × 高）	便携式或台式：625 mm × 403 mm × 517 mm  推车式：764 mm × 508 mm × 1153 mm

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片