安捷伦提供稳定可靠的独特涡轮分子真空泵和控制器，在学术、科研、纳米技术、分析仪器和工业等广泛应用中均能提供值得信赖的真空环境。安捷伦涡轮分子泵抽速范围为 70-2300 L/s，采用诸多创新设计，并有全面的测试和可靠的售后支持作为保障。

Agilent TwisTorr 技术
-抽气效应所需要的动量来自于转子盘，这些动量被传递给气体分子
-气体分子被迫沿着定子盘上的螺旋通道运动。通道的特殊设计能够确保局部抽速恒定并避免反向压力梯度，以大程度降低功耗

向心抽气作用
转子盘的下表面区域能够将动量传递给气体分子。
位于 TwisTorr 定子盘上表面的螺旋通道产生向心抽气作用。
离心抽气作用
转子盘的上表面区域能够将动量传递给气体分子。

好的性能
-TwisTorr 泵能够对所有气体提供同级别产品中的抽速
-先进的 TwisTorr 技术还可在市售涡轮分子泵中实现轻质气体的高压缩比
-在达到高性能的同时，新型拖动级的设计与之前的设计相比，平均功耗将降低至四分之一

节省空间的设计
-我们的转子采用经过验证的安捷伦一体式转子设计，在这种设计中，TwisTorr 定子盘置于两片平滑的转子盘中间，因此能够通过两个串联的转子
盘表面实现抽气作用
-TwisTorr 定子盘的双面螺旋通道设计将向心和离心抽气作用进行串联，大大减小了拖动级的尺寸

压缩比
-与尺寸及转速相同的 MacroTorr 拖动级相比，单TwisTorr 级的 N2 压缩比多提高了 100 倍，且不会降低前级耐压和抽速

分子泵规格

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片