产品简介
安捷伦制造稳定可靠的出色涡轮分子泵系统/机组 (TPS)，在实验室和工业等广泛应用中均能提供值得信赖的真空环境。 涡轮分子泵解决方案配备抽速 70–700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3–30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 干式前级泵、5–30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。 这些创新系统通过模块化或集成平台满足您的所有需求，包括小型轻型涡轮分子泵机组、台式测量仪和滚动推车涡轮分子泵系统。
分子泵机组
产品概述
TPS-mini 涡轮分子泵
TPS-mini 便携式真空解决方案将 TwisTorr 74 FS 涡轮分子泵和 10 L/min 干式隔膜泵组合到一起，极具竞争优势。该系统在同类产品中体积小、重量轻，可通过抽气口法兰将其安装在实验台或直接安装在系统上的任意位置。一体式显示器可以从各种主动式真空计读取系统压力。
TPS-mini 是一款即用型干式泵组，是小体积真空室和真空计校准系统的理想真空解决方案。开关简单易用，只需轻按一下即可实现高真空度。
特性
-即插即用式设计可实现简单的一键式操作
-体积小巧且轻便，便于携带和集成到任何位置
-一体式电子器件和显示器可读取从大气压到极限真空的全量程压力
-嵌入式 70 L/s 涡轮分子泵，可实现低至 1 x 10-8 mbar 的运行
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对涡轮分子泵和压力的全面控制
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现涡轮分子泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
-电压范围宽 (90–240 V)，可满足世界各地的运行要求
-通过 CE/CSA 认证
TPS 紧凑型涡轮分子泵组
TPS 紧凑型泵组是一种便携式无油涡轮分子泵机组。配备 TwisTorr 74 FS 或 305 FS 涡轮分子泵，并以安捷伦 3 m3/h (60 L/min) 涡旋式干泵技术为支撑，以小巧体积提供市面上极快的抽真空速度。大尺寸压力显示器能够读取各种主动式真空计读数。
TPS 紧凑型泵组可以在世界各地的电压下运行，并通过了 CE/CSA-UL 认证。
该系统是大学实验室、工业应用和医疗应用中大 100 L 中型真空腔室的理想选择。开关简单易用，只需轻按一下即可实现高真空度。
特征
-用于快速抽真空的集成式 3 m3/h 涡旋式干泵 (IDP-3)
-即插即用式设计可实现简单的一键式操作
-设计紧凑，便于携带
-一体式电子器件和显示器可读取从大气压到极限真空的全量程压力
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-提供多种涡轮分子泵尺寸，可满足您的应用需求
-高涡轮分子泵压缩比可实现低至 1 x 10-9 mbar 的极限真空度
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
-电压范围宽 (90–240 V)，可满足世界各地的运行要求
-套装中包含抽气口滤网
-通过 CE/CSA 认证
TPS-flexy 涡轮分子泵组
Agilent TPS-flexy 涡轮分子泵组是一套灵活、可定制的高真空系统。提供三种前级干泵（IDP-7 涡旋式干泵、IDP-3 涡旋式干泵或 MD-1 隔膜泵）和两种涡轮分子泵（Twis Torr 74 FS 和 305 FS）选项。提供 40 多种选项，您可以从中找到适合您应用的组合
TPS-flexy 包使您可以自行选择组件并配置系统，以应对各种挑战性应用。快速从平台上卸下涡轮分子泵，将其直接安装在系统中，大程度提高抽真空速度。
特征
-灵活性：涡轮分子泵可在数分钟内从系统中轻松拆卸，并以任意方向安装在真空室上
-定制化：您可以根据具体需求从 50 多种配置中进行选择，构建理想的系统
-具备真空计读数功能，可在涡轮分子泵控制器 LCD 显示屏上提供实时压力读数
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-可服务性：对各个组件均提供安捷伦高级更换服务，实现方便快捷的现场更换
-快速到货：基于标准组件，实现快速配置、接收和组装
-提供多种涡轮分子泵尺寸，可满足您的应用需求
-提供三种电压选项（100 V、120 V 和 240 V），可适应世界各地的运行要求
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
TPS-移动型涡轮分子泵组
TPS 移动型系统是一种位于小体积滚动推车上的可定制大抽速泵组。从 400 多种配置中进行选择，其中包括以 IDP 或 TriScroll 涡旋式干泵（抽速 3–30 m3/h），或 DS 旋片泵（抽速 6–30 m3/h）作为前级泵，泵速范围为 70–700 L/s 的小型和中型 TwisTorr 涡轮分子泵。TPS 移动型系统的多种选择包括新的 TwisTorr 305 技术，提供高压缩比 (TwisTorr 305 FS) 和高通量 (TwisTorr 305 FSQ) 配置。
当需要对大型系统抽真空并保持尽可能大的可移动性时，TPS 移动型系统是理想的解决方案。添加正确的真空计以监测系统压力。
有关采用 TwisTorr 74 FS 或 V-551 涡轮分子泵的 TPS 移动型配置，请联系安捷伦以获取供货情况和订购帮助。
特征
-移动性：滚动推车可帮助您将真空泵机组移动至任何所需位置
-灵活性：易于拆卸的涡轮分子泵可以任意方向快速安装在真空腔室上
-定制化：您可以根据具体需求从 400 多种配置中进行选择，构建理想的系统
-一体式真空计读数功能，可显示系统压力
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-可服务性：对各个组件均提供安捷伦高级更换服务，实现方便快捷的现场更换
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-提供多种涡轮分子泵 (70-700 L/s) 以及干式或油式前级泵 (3-30 m3/h) 供您选择
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
TPS-mini 便携式真空解决方案将 TwisTorr 74 FS 涡轮分子泵和 10 L/min 干式隔膜泵组合到一起，极具竞争优势。该系统在同类产品中体积小、重量轻，可通过抽气口法兰将其安装在实验台或直接安装在系统上的任意位置。一体式显示器可以从各种主动式真空计读取系统压力。
TPS-mini 是一款即用型干式泵组，是小体积真空室和真空计校准系统的理想真空解决方案。开关简单易用，只需轻按一下即可实现高真空度。
特性
-即插即用式设计可实现简单的一键式操作
-体积小巧且轻便，便于携带和集成到任何位置
-一体式电子器件和显示器可读取从大气压到极限真空的全量程压力
-嵌入式 70 L/s 涡轮分子泵，可实现低至 1 x 10-8 mbar 的运行
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对涡轮分子泵和压力的全面控制
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现涡轮分子泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
-电压范围宽 (90–240 V)，可满足世界各地的运行要求
-通过 CE/CSA 认证
TPS 紧凑型涡轮分子泵组
TPS 紧凑型泵组是一种便携式无油涡轮分子泵机组。配备 TwisTorr 74 FS 或 305 FS 涡轮分子泵，并以安捷伦 3 m3/h (60 L/min) 涡旋式干泵技术为支撑，以小巧体积提供市面上极快的抽真空速度。大尺寸压力显示器能够读取各种主动式真空计读数。
TPS 紧凑型泵组可以在世界各地的电压下运行，并通过了 CE/CSA-UL 认证。
该系统是大学实验室、工业应用和医疗应用中大 100 L 中型真空腔室的理想选择。开关简单易用，只需轻按一下即可实现高真空度。
特征
-用于快速抽真空的集成式 3 m3/h 涡旋式干泵 (IDP-3)
-即插即用式设计可实现简单的一键式操作
-设计紧凑，便于携带
-一体式电子器件和显示器可读取从大气压到极限真空的全量程压力
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-提供多种涡轮分子泵尺寸，可满足您的应用需求
-高涡轮分子泵压缩比可实现低至 1 x 10-9 mbar 的极限真空度
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
-电压范围宽 (90–240 V)，可满足世界各地的运行要求
-套装中包含抽气口滤网
-通过 CE/CSA 认证
TPS-flexy 涡轮分子泵组
Agilent TPS-flexy 涡轮分子泵组是一套灵活、可定制的高真空系统。提供三种前级干泵（IDP-7 涡旋式干泵、IDP-3 涡旋式干泵或 MD-1 隔膜泵）和两种涡轮分子泵（Twis Torr 74 FS 和 305 FS）选项。提供 40 多种选项，您可以从中找到适合您应用的组合
TPS-flexy 包使您可以自行选择组件并配置系统，以应对各种挑战性应用。快速从平台上卸下涡轮分子泵，将其直接安装在系统中，大程度提高抽真空速度。
特征
-灵活性：涡轮分子泵可在数分钟内从系统中轻松拆卸，并以任意方向安装在真空室上
-定制化：您可以根据具体需求从 50 多种配置中进行选择，构建理想的系统
-具备真空计读数功能，可在涡轮分子泵控制器 LCD 显示屏上提供实时压力读数
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-可服务性：对各个组件均提供安捷伦高级更换服务，实现方便快捷的现场更换
-快速到货：基于标准组件，实现快速配置、接收和组装
-提供多种涡轮分子泵尺寸，可满足您的应用需求
-提供三种电压选项（100 V、120 V 和 240 V），可适应世界各地的运行要求
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
TPS-移动型涡轮分子泵组
TPS 移动型系统是一种位于小体积滚动推车上的可定制大抽速泵组。从 400 多种配置中进行选择，其中包括以 IDP 或 TriScroll 涡旋式干泵（抽速 3–30 m3/h），或 DS 旋片泵（抽速 6–30 m3/h）作为前级泵，泵速范围为 70–700 L/s 的小型和中型 TwisTorr 涡轮分子泵。TPS 移动型系统的多种选择包括新的 TwisTorr 305 技术，提供高压缩比 (TwisTorr 305 FS) 和高通量 (TwisTorr 305 FSQ) 配置。
当需要对大型系统抽真空并保持尽可能大的可移动性时，TPS 移动型系统是理想的解决方案。添加正确的真空计以监测系统压力。
有关采用 TwisTorr 74 FS 或 V-551 涡轮分子泵的 TPS 移动型配置，请联系安捷伦以获取供货情况和订购帮助。
特征
-移动性：滚动推车可帮助您将真空泵机组移动至任何所需位置
-灵活性：易于拆卸的涡轮分子泵可以任意方向快速安装在真空腔室上
-定制化：您可以根据具体需求从 400 多种配置中进行选择，构建理想的系统
-一体式真空计读数功能，可显示系统压力
-可使用 Vacuum Link 应用程序通过手机实现对泵的全面控制
-可服务性：对各个组件均提供安捷伦高级更换服务，实现方便快捷的现场更换
-模拟 I/O 可提供系统和压力驱动设定值的准确控制
-提供多种涡轮分子泵 (70-700 L/s) 以及干式或油式前级泵 (3-30 m3/h) 供您选择
-串行 RS232 通信协议结合 A-Plus 软件可实现泵的运行、控制以及系统参数（即压力）的记录
技术参数
应用领域
-
集成电路 -
芯片 -
晶圆片
