单级和双级油封旋片泵适用于多种应用

单级和双级旋片泵可提供多种抽速和配置。此类泵是涡轮分子泵或扩散泵的理想前级泵，也可单独用于实验室、分析或工业应用中。
DS 系列油封旋片真空泵型号可提供 45 - 605 L/min (1.6 - 21.4 cfm) 的抽速和 < 2 x 10E-03 mbar 的极限压力。DS 系列泵的运行噪音水平很低。MS 系列的大容量单级油润滑旋片泵是具有类似抽速的大型工业泵的理想替代选择，它具备紧凑且绿色环保的优点。灵活的 MS 系列泵采用稳定可靠的组件，在低压下具有较高的抽速，噪音低且易于安装。

DS 102 旋片泵
DS 102 是一种双级油封旋片泵，在 50 hz 下抽速可达 5.0 m3/h，在 60 hz 下抽速可达 3.5 CFM，并可实现< 2 x 10-3 mbar 的极限压力。DS 102 采用配备集成式电源开关的通用电压单相电机。
集成到泵中的抽气口隔离阀可在泵的电源中断时关闭抽气口。该防返油阀可保持前级泵内的真空度，并防止泵油污染真空室。DS 102 配备手动气镇阀，当其打开时，可使泵达到额定的水蒸汽处理规格。

特征
-双级设计可实现低至 10-3 mbar 的工作压力和低操作温度，并尽可能减少了低压下的返油现象，同时在 10-2 mbar 的低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果
-在全球范围内提供单相或三相电机，适用于所有电压和频率。可轻松选择操作电压，提供了更大的灵活性，有利于规划和减少库存
-防返油阀和放空装置在泵停止运行或闲置时将其隔离，同时可以防止在泵关闭或断电故障时真空系统的不当放空和泵油污染
-插座型 IEC320 允许使用标准电源线，无需打开盒盖板为电机接线
-气镇阀打开时，向泵的第二级注入干燥的空气，此操作将使模块升温，从而有助于排气并清除泵油产生的水蒸汽或其他可冷凝气体

MS40+ 旋片泵
MS40+ 是 LC/MS 和 ICP-MS 仪器的理想前级泵。MS40+ 单级油封旋片泵以小巧体积提供高抽速 (40 m3/h)。这款泵配备拥有可更换排气口过滤器元件的集成式排气/泵油过滤系统。这使得该泵适用于高气体通量工作条件，可实现 < 5-2 mbar 的极限压力。
安捷伦提供的 MS40+ 泵有多种转速可供选择，范围从 1200 rpm 到 1620 rpm。查看每个型号的货号，了解相应的规格。

特征
-高抽气量，体积小巧
-变频驱动电机可调节抽速和压力，并降低功耗
-在 10-2 mbar 压力范围内实现高压稳定性
-提供 AVF Gold 和 Platinum 泵油
-提供不同转速的泵型号

MS-101 旋片泵
Agilent MS-101 是一款大容量单级油润滑旋片泵。MS-101 采用油循环系统、防止系统污染的防返油阀，以及可延长泵使用寿命的碳纤维复合材料叶片。MS-101 凭借低振动性能和风冷系统，成为具有类似抽速但噪音和振动大、使用维护成本高的大型工业泵的替代选择，具备功能强大、紧凑且绿色环保的优点。
我们的 MS-101 泵非常可靠，通常与扩散 HV 泵配合用于各种工业应用，包括冶金、热处理、真空镀膜、电子束焊接、氦气检漏和液化天然气 (LNG) 运输等。

特征
-行业好的真空性能，可实现 8 x 10-2 mbar (6 x 10-2 torr) 的极限压力
-高度稳定，可满足严格的应用要求
-钢质转子以及特殊设计的碳纤维叶片可延长泵的使用寿命，气镇阀使其可用于高水蒸汽含量的应用
-与具有相同抽速的泵相比，该泵设计紧凑且易于安装
-采用高效的泵油循环系统，可实现高度可靠的性能
-将内置的除雾器系统与用于泵油回收的浮动阀集成，绿色环保

IDP-3 涡旋式干泵规格

噪音水平	55 dB(A)
宽度	5.5 in
尺寸（宽 x 高 x 长）	5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)	3 m3/h 50 L/min 1.8 CFM
抽速 (60 Hz)	3.6 m3/h 60 L/min 2.1 CFM
排气口连接	¼ inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作环境温度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大进气口压力	1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
运输重量	10.5 kg 23 lbs
进样口连接	NW16
重量（只有泵时）	9.5 kg 21 lbs
长度	14.09 in
高度	7.13 in

TriScroll 600 变频泵

噪音水平	55–68 dB(A)
宽度	10.8 in
尺寸（宽 x 高 x 长）	10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)	全速下为 30 m3/h 全速下为 500 L/min 全速下为 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)	全速下为 30 m3/h 500 L/min 全速下为 17.7 CFM
排气口连接	NW25
操作环境温度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大进气口压力	1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
输入电压	200–240 V，1Ø，50/60 Hz
运输重量	39 kg 85 lbs
进样口连接	NW40
重量（只有泵时）	31 kg 68 lbs
长度	18.35 in
高度	14 in

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片