涡旋泵：洁净、高性能的无油真空泵
涡旋泵通过简单的双涡旋盘式结构产生真空，即一个嵌套涡旋盘围绕另一个旋转，产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵，并被转移和压缩至中央，然后在中央处排放。快速可预测的维护过程大大缩短了服务停机时间，降低了维护成本。在需要无油泵的情况下，涡旋泵是旋片泵的理想替代。
安捷伦 IDP 密封涡旋式干泵具有完全隔开的轴承，可提供静音、洁净、无油的真空。它们非常适用于分析仪器、低温应用、氦气再循环、冷冻干燥和大麻提取，也可作为涡轮分子泵的前级泵。
Agilent TriScroll 泵是一款可靠耐用的涡旋泵，可提供高抽速和极限真空度，可选配变频器或三相电机。TriScroll 泵可用于泄漏检测、制造过程和其他工业应用。

IDP-3 涡旋式干泵
Agilent IDP-3 涡旋式干泵是一款创新、紧凑、高性能的无油真空泵，适用于研究、分析仪器和实验室市场中的多种应用。这款泵是用于常规真空应用的小涡旋式干泵，可轻松集成到 OEM 系统中。
Agilent IDP 泵采用密封设计，电机和所有轴承均与真空环路完全隔离。这种设计能够延长轴承使用寿命，提供清洁的无油真空。IDP 泵采用单面涡轮设计，可通过简单的工具在 15 分钟内完成维护操作。

特征
-轻便小巧的 IDP 涡旋式干泵
-洁净、无油的真空环路 — 无需繁琐的维护，不存在污染风险
-密封设计，与电机和轴承完全隔离
-静音运行，提高工作场所舒适性
-低振动
-优于隔膜泵的极限真空度
-24 VDC 电机选件可控制抽速使用寿命长，维护快速
-所有 IDP-3 泵标配计时器
-非常适用于 GC/MS 应用
-体积小巧，非常适合集成到分析仪器、检漏和氦气再循环的 OEM 系统中

TriScroll 600 变频泵
Agilent TriScroll 600 变频泵是一款涡旋式干泵，抽速为 30 m3/h (500 L/min)。这款泵将变频技术的优点与 Agilent TriScroll 真空泵的良好性能结合。
TriScroll 600 采用变频技术，在全球所有频率和输入电压下均能提供稳定如一的真空性能TriScroll 600 变频泵避免了油封旋片泵需要经常维护的麻烦，很容易达到法规和环保方面的要求，并节省了处置废油的成本。

特征
-高抽速（30 m3/h，500 L/min）和低极限压力可提供洁净的无油真空
-各种电源频率下，抽速均保持不变
-通过 RS-232 或 0-10 V 控制信号调节泵的转速，可以选择优抽速
-泵参数可通过串行接口监测
-标准 D-Sub 连接器可提供触点闭合进行远程启停
-通过选择佳转速可降低工作区域的噪音和振动水平，几乎不会降极限真空度
-使用 Agilent A-PLUS 软件

IDP-3 涡旋式干泵规格

噪音水平	55 dB(A)
宽度	5.5 in
尺寸（宽 x 高 x 长）	5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)	3 m3/h 50 L/min 1.8 CFM
抽速 (60 Hz)	3.6 m3/h 60 L/min 2.1 CFM
排气口连接	¼ inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作环境温度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大进气口压力	1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
运输重量	10.5 kg 23 lbs
进样口连接	NW16
重量（只有泵时）	9.5 kg 21 lbs
长度	14.09 in
高度	7.13 in

TriScroll 600 变频泵

噪音水平	55–68 dB(A)
宽度	10.8 in
尺寸（宽 x 高 x 长）	10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)	全速下为 30 m3/h 全速下为 500 L/min 全速下为 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)	全速下为 30 m3/h 500 L/min 全速下为 17.7 CFM
排气口连接	NW25
操作环境温度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大进气口压力	1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
输入电压	200–240 V，1Ø，50/60 Hz
运输重量	39 kg 85 lbs
进样口连接	NW40
重量（只有泵时）	31 kg 68 lbs
长度	18.35 in
高度	14 in

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片