由于不同的真空泵适用于不同的用途，因此针对不同的泵操作量身定制了真空泵油。可以通过适当的蒸气压、粘度、耐热性或耐化学腐蚀性以及其他因素区分哪种泵油可实现出色性能。  针对不同型号的安捷伦真空泵选择主要的安捷伦真空泵油，确保泵能够充分实现其操作性能指标。

特征

安捷伦真空泵油经过主要配制，可为每一种泵设计和泵规格提供出色性能。
DS-19 泵油是一种具有极低蒸气压的泵油，用于双级泵，可使泵达到尽可能低的极限压力，同时提供大大延长泵使用寿命所需的润滑性和耐磨性。

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片