产品简介
SPSM系列探针台主要参数是样品座尺寸：2英寸、4英寸；最大探针臂数量6个；样品环境在大气中，温度范围：室温。SPSM系列紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。
紧凑型手动探针台SPSM系列
产品概述
Avantgarde紧凑型室温手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，外接不同的测量仪器，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测，用于室温下超小芯片晶圆和器件的非破坏性测试。
SPSM系列紧凑型室温手动探针台是一款经济实惠、入门级的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行大量非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备，可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量。紧凑的桌面设计是学术和实验研究的最佳选择。
特点
• 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品
• 样品座下方位移座可实现样品座三维精细位移调节使得样品测试和换样更加便捷。
• 最多可安装6个探针臂
• 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调，操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。
• 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内
• CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm
技术参数
型号分类：
| 型号 | 样品座尺寸 |
| SPSM-2 | 2英寸 |
| SPSM-4 | 4英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 卡盘尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材质： | 无氧铜镀金 |
| 样品固定方式： | 多孔分区吸附有外圈、内圈和中间三个单独控制的气体吸附通道 |
| 位移行程： | X-±6.5mm，Y-±6.5mm，Z-±5mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂 | |
| 固定方式： | 磁铁吸附 |
| XYZ微调移动行程： | XYZ-13mm |
| 读数精度： | 10μm |
| 探针臂数量： | 可安装6个探针臂（左右各3个） |
| 电学线缆： | 三同轴线缆 |
| 漏电流： | 100fA |
| 探针类型： | 直流探针 |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 50-1000倍 |
| 显微镜工作距离： | 90-100mm |
| 显微镜分辨率： | 最小可识别3μm |
| 可加选件 | |
| 光学平台/直流探针/微波探针/样品座/屏蔽箱/光纤 | |
应用领域
-
集成电路 -
芯片 -
晶圆片
