产品简介
PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。
室温真空探针台PSV系列
产品概述
Avantgarde 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
PSV系列室温真空探针台是一款专门针对室温真空电测环境开发的探针台，能够对2寸、4寸晶圆片进行重复非破坏性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量和RF测量。
特点
• 真空腔极限真空度能够达到5E-4 mbar，通过真空泵连接KF25法兰抽真空。
• 样品座可以放置最大4英寸的晶圆样品，探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。探针臂可在X-Y-Z-R范围内进行四维调节，能满足最大4英寸范围内全部位置的扎针测试。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性。
• 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，使用4200实测漏电流小于100fA @1V。
• 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏。
• 可选微波探针臂，最高频率可达到110GHz。
技术参数
型号分类：
| 型号 | 样品座尺寸 |
| PSV-2 | 2英寸 |
| PSV-4 | 4英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 样品座类型及材质： | 无氧铜接地样品座 |
| 尺寸： | 2/4英寸 |
| 可选配置： | 接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座 |
| 探针臂组件 | |
| 类型： | 直流探针臂 |
| 数量： | 4个 |
| 接头和线缆： | 三同轴接头 |
| 漏电流： | 100fA@1V真空环境 |
| 信号频率： | 直流~50MHz 交流 |
| 匹配阻抗： | 50 Ω |
| 探针针尖直径： | 100μm铍铜探针 |
| 位移行程： | X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10° |
| 读数精度： | 10μm |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 10~180 倍 |
| 最小分辨率： | 3μm |
| 视野范围： | 最大可到 22mm |
| 显微镜工作距离： | 90~100mm |
| 显微镜支架升级行程： | 65mm |
| 真空腔体 | |
| 材料： | 铝合金 |
| 腔体容积： | 4/6L |
| 外形尺寸： | 800*800*600 |
| 腔体入口尺寸： | Ø124mm |
| 可视窗口尺寸： | 50mm |
| 真空度： | 5E-4 torr |
| 真空抽口： | KF25法兰 |
| 真空腔体窗片： | 红外绝热材质 |
| 防辐射屏窗片： | 石英材质 |
| 充气阀接口： | Ø8 快拆接头 |
| 预留接口： | 2个探针臂接口，2个电学接口 |
| 减振支架（选件） | |
| 尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换 | |
应用领域
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集成电路 -
芯片 -
晶圆片
