产品简介
Avantgarde PSM-65K低温探针台,采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,最低温度65K,振动小于1μm,测试温度范围宽,最大支持65K-350K连续变温,耗电量小,最大输入功率320W。
Avantgarde PSM-65K低温探针台,采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,最低温度65K,振动小于1μm,测试温度范围宽,最大支持65K-350K连续变温,耗电量小,最大输入功率320W。
PSM-65K低温探针台是的一款经济小巧的闭循环低温探针台,其紧凑型以及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<65K-350K高低温真空测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测,实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
系统特点:
• 采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,最低温度65K。
• 振动小于1μm。
• 测试温度范围宽,最大支持65K-350K连续变温。
• 耗电量小,最大输入功率320W。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作,可以在不破坏真空 的情况下,切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节,能满足最大4英寸样品的测试。
• 探针臂采用三同轴接头,漏电性能好,实测漏电流小于100fA @1V@65K-350K。
• 真空腔材质为铝制材料,能够有效减小外界的电磁干扰,提高测试的精准度和稳定性。
参数和指标:
探针台主机分类 | ||
型号 | PSM-65K-2 | PSM-65K-4 |
温度范围 | 65K-350K | |
控温稳定性 | +/-50mK | |
振动 | <1μm | |
样品座 | ||
类型及材料 | 无氧铜接地镀金样品座 | |
尺寸 | 2寸 | 4寸 |
可选配置 | 绝缘样品座 (最高温度只能到400K) 同轴样品座 (最高温度只能到400K) 三同轴样品座(最高温度只能到400K) | |
探针臂 | ||
类型 | 直流探针臂 | |
数量 | 4 | |
接头及电缆 | 三同轴接头+极细同轴低温电缆 | |
漏电流 | 100fA@1V 真空环境中 | |
信号频率 | DC--50MHz | |
匹配阻抗 | 50欧姆 | |
位移范围 | X+/- 35mm,Y+/- 12.5m,Z +/-6.5m R+/-10° | X+/- 50mm,Y+/- 12.5m,Z +/-6.5m R+/-10° |
光学系统 | ||
显微镜放大倍数 | 10--180倍 | |
分辨率 | 3微米 | |
视场 | 最大22mm | |
工作距离 | 90--100mm | |
真空腔 | ||
材料 | 铝合金 | |
腔体容积 | 4L | 5.5L |
整体尺寸 | 800*800*600 | 900*900*600 |
腔体内径 | 124mm | 155mm |
视窗尺寸 | 50mm | 100mm |
真空腔体窗口 | 标准石英窗口 | |
防辐射屏窗口 | 红外吸收窗口 | |
真空度 | 5E-4 torr | |
预留接口 | 2个探针臂接口&2个电学接口 | |
防辐射屏材料 | 不锈钢 | |
冷却时间 | 60分钟到77K | 100分钟到77K |
冷源 | 斯特林制冷机 | |
专用振动隔离桌 | ||
尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 |
桌推 | 固定脚&滚轮 |