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液氮高低温探针台 PSM-LN2系列
PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测,用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
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闭循环低温探针台PSM-4K系列
PSM-4K系列低温探针台是一款闭循环低温探针台,紧凑型及低振动的设计,能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个<5K-350K高低温真空测试环境,通过外接不同的电学测量仪器,可完成材料/器件的IV、CV、光学以及微波等参数检测,实现低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。
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闭循环低温探针台PSM-65K系列
Avantgarde PSM-65K低温探针台,采用小型低振动闭循环制冷,无需消耗液氦,最低温度65K,振动小于1μm,测试温度范围宽,最大支持65K-350K连续变温,耗电量小,最大输入功率320W。
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