产品简介
HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。测试温度：室温或者77K液氮低温，矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择，适用于多电极样品，有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间和精确、快速零磁场控制功能。
多通道自动化霍尔测试系统 HSMC-10
产品概述
HSMC-10多通道霍尔测试系统能够为多电极圆柱型晶锭、D型晶锭和大型晶圆片提供一个变磁的环境。系统有77K液氮单点选件，提供样品在77K低温下完成霍尔效应测量。搭配霍尔测试仪，能够准确测得低迁移率材料的电学性能可在电磁场、液氮低温环境（77K）下，对多种类型样品进行快速自动化测试，以获取样品的霍尔参数，包含待测样品的电阻率、霍尔电压、霍尔系数、载流子浓度、霍尔迁移率和载流子类型等，填补传统的霍尔测试仪器只能测量制备成型后样品的空白。
系统特点：
• 具有行业先进的快速霍尔效应测试功能和数据分析功能，大大降低测量时间；
• 矩阵开关实现测试电极之间自由切换、选择，适用于多电极样品；
• 可定制电磁铁能够实现大磁场均匀区，适用于大样品；
• 具有24电极自动选择、切换测试和数据分析功能；
• 具有0.1T ~ 1T宽范围磁场调节区间和精确、快速零磁场控制功能；
• 具有自动进样功能，可支持重达1kg待测样品自动化进样；
• 具有丰富样品测试支架可选，可测圆柱型晶锭、D型晶锭、晶圆片（2寸、4寸和6寸）等各形各尺寸样品；
• 具有数据采集、整理、分析、输出功能，同时具备报告定制和导出功能；
• 具有系统可扩展性，升级后最多可支持32电极自动切换测试。
• 测试温度：室温或者77K液氮低温；
技术参数
参数和指标：
| 测量参数 | |
| 待测样品尺寸 | 支持6寸或更大，兼容4寸和2寸 |
| 迁移率 | 0.01~1×106cm2/Vs |
| 标配电阻测量范围 | 10mΩ ~ 10MΩ |
| 低温温区 | 77K |
| 霍尔测试最小R2 | 0.9999 |
| 矩阵开关参数 | |
| 开关类型 | EMR |
| 通道 | 共(4Bank×16CH/Bank)通道：4组，每组1切16 |
| 切换时间(Typ) | 6ms |
| 开关最大承载电压 | 300VDC/250VAC |
| 开关最大承载电流 | 切换电流/持续电流：1A，脉冲电流：6A@100ms |
| 样品类型 | |
| 圆柱型晶锭 | 圆柱型晶锭为圆柱体或者类圆柱体，晶锭上可有多个电极 |
| D型晶锭 | 沿圆柱型晶锭轴线对半剖开所得，晶锭上可有多个电极 |
| 晶圆片 | 2寸、4寸和6寸样品 |
| 电磁铁 | |
| 磁场范围 | 0.1T~1T@50A(Φ300mm极面，固定气隙75mm中心) |
| 磁场步长 | 10Gs |
| 磁场均匀度 | 75mm气隙中心磁场优于1.0T@50A(φ300mm极面)工作时间30min 均匀区Φ150*30mm，均匀度 1% 均匀区Φ200*50mm，均匀度 5% 1%@（30*Φ150mm），5%@（50*Φ200mm）,重量：2337KG |
| 电磁铁电源 | |
| 最大输出功率 | 10 kW @ AC 380 V ±10%(50 ~60 Hz) |
| 最大输出电流 | 50 A |
| 重量 | 30 kg |
| 二维步进电机 | |
| 水平X行程 | 400mm |
| 垂直Z行程(带刹车) | 700mm |
| 77K液氮单点系统 | |
| 液氮容积 | 约3.38L |
| 恒温器内尺寸（mm） | 190*54*33 |
| 测试温度 | 室温和77K液氮单点 |
应用领域
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集成电路 -
芯片 -
晶圆片
